2024-12-20
芯源微获得实用新型专利授权：“一种载片模块和涂胶显影设备”
本站消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种载片模块和涂胶显影设备”，专利申请号为CN202323670052.3，授权日为2024年11月26日。 专利摘要：本实用新型涉及半导体制造设备领域，提供了一种载片模块和涂胶显影设备，一种载片模块，包括：架体，包括背面板和垂直于所述背面板相对设置的两个安装板，所述背面板在两个所述安装板之间设有维护通道，所述架体上还设有多个支撑架；以及载片单元，多个所述载片单元沿竖直方向设置于两个......
